Anwendung des harmonischen Reduzierers in Halbleiter -Waferhandhabungsgeräten

Der Harmonic Reducer ist aufgrund seiner hohen Präzision, hohen Starrheit und kompakten Struktur zur Kernübertragungskomponente der Halbleiter -Waferhandhabungsgeräte geworden. Sein Arbeitsprinzip basiert auf der elastischen Verformungsübertragung: Es besteht aus einem Wellengenerator, einem flexiblen Gang und einem starren Gang. Der Wellengenerator bewirkt, dass das flexible Zahnrad regelmäßig verformt und mit dem starren Zahnrad ein hohes Reduktionsverhältnis (normalerweise 50: 1 ~ 160: 1) und die Wiederholungsgenauigkeit auf Mikronebene (innerhalb von ± 10 Bogen Sekunden) erzielt.

In der Halbleiterausrüstung ist die Genauigkeitsbehebung des harmonischen Reduzierers von entscheidender Bedeutung:
1. Backrost-freies Getriebe: Die elastische Verformung des flexiblen Zahnrads beseitigt den Zahnradspalt, sorgt für die Positionierungsstabilität des Roboterarms des Wafers und vermeidet Mikrovibrationen, die die Chipausbeute beeinflussen.
2. Langzeit- und niedriger Verschleiß: Mithilfe von Spezialstahl- und Schmierentechnologie können sie unter Hochgeschwindigkeitsstart und -stop weiterhin die Genauigkeit aufrechterhalten (Halbleiterausrüstung erfordert Hunderte von Aktionen pro Minute), und die Lebensdauer kann mehr als 10.000 Stunden erreichen.

Die Anwendungen umfassen Szenen wie Roboter mit Waferhandhabung, Arbeitstabellen für Lithographiemaschinen und Sondenstationen und erfüllen die Bedürfnisse der Semiconductor-Herstellung für die Bewegungssteuerung auf Nanoebene. Beispielsweise treibt der Harmonic-Reduzierer im Waferübertragungsroboter den Effektor des Vakuumadsorptionendends direkt an, um eine wiederholbare Positionierungsgenauigkeit von ± 0,01 mm zu erreichen, um sicherzustellen, dass der Wafer während des Hochgeschwindigkeitstransports nicht beschädigt wird. Wenn sich die Halbleitertechnologie zu kleineren Prozessen entwickelt, werden die hochpräzisen Merkmale des Harmonischen Reduzierers in Zukunft das Upgrade der Geräteleistung weiter fördern.